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[뉴스] 한국반도체학술대회 우수논문상 [최창환 교수 연구실 - 김민혁 & 이도희 학생] | ||
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한국반도체학술대회에서 나노 전자 소자 및 재료 연구실의 김민혁과 이도희 학생이 Thin Film Process Technology와 Memory Design & Process Technology 분과에서 각각 우수포스터상을 수상하였습니다.
- Effective Work
Function Modulation of ALD TaN/HfO2 MOS Devices with Different Capping
Materials - PEALD SiO2 as Diffusion Limit Layer in Cu/SiO2/ZrO2/Pt Synaptic Device
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