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한양대학교 신소재공학부

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[뉴스] 한국반도체학술대회 우수논문상 [최창환 교수 연구실 - 김민혁 & 이도희 학생]
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  • 2020-06-25 00:00:36

한국반도체학술대회에서 나노 전자 소자 및 재료 연구실의 김민혁과 이도희 학생이 Thin Film Process Technology Memory Design & Process Technology 분과에서 각각 우수포스터상을 수상하였습니다.

 

- Effective Work Function Modulation of ALD TaN/HfO2 MOS Devices with Different Capping Materials

- PEALD SiO2 as Diffusion Limit Layer in Cu/SiO2/ZrO2/Pt Synaptic Device​ 

 

 

 

 

 

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